功能特點

界面友好，操作簡單，功能全面。可以與MeQLab或其他分(fēn)析工(gōng)具進行數據輸出，形成一(yī)個完整的建模平台。機器學習算法使其測量速度是同行産品的2-3倍。

支持器件類型

Mosfet、MosSOI、BJT、

Diode、Capacitor、Resistor

主要應用

● 晶圓映射：界面簡易友好，可以迅速制定wafer測量計劃，并查看測量結果。包括：編輯subdie、設置subdie測量内容、選擇die和device,制定

test plan、通過圖标能清晰地分(fēn)辨出各個die/ subdie的測量情況。

● 更多更全面的IV和CV測量例程；

● 支持Stress測量；

● 高度集成界面，更容易地完成Meter, Matrix, Probe的設置和管理，并通過Routine組織不同Device類型的測量内容，所有設置可一(yī)鍵導出導入；

● 豐富的Log信息，全面詳細地顯示測量中(zhōng)不同Device和不同page所花費(fèi)的時間；

● 強大(dà)的看圖、疊圖以及輸出Report功能，能夠輸出WAT友好的excel格式，方便對數據進行後繼處理。

支持儀器類型

Meter: FS360/FS380/B1500/HP4284/HP4156/E4980

Matrix: K707/E5250A/B2200

Prober: Cascade Semi-Auto PA300/S300